अपने फैब में सही तापमान प्राप्त करना
यदि आपने कभी वेफरों को सुखाने का काम किया है, तो आपको वेफरों में विकृति या रासायनिक पदार्थों के असमान वितरण की समस्याओं का अनुभव होगा। ऐसी समस्याओं का कारण आमतौर पर यही होता है कि गर्मी सतह पर समान रूप से नहीं पहुँच पाती।
इसीलिए हम उच्च-परावर्तकता वाली आईआर प्रणालियों का उपयोग करते हैं। गर्मी को हर दिशा में न भेजकर, हम इन परावर्तकों का उपयोग करके गर्मी को ठीक उसी जगह भेजते हैं जहाँ उसकी आवश्यकता है। आधुनिक फैबों में ये केवल साधारण दर्पण नहीं होते; बल्कि ये ही आपके कार्य-चक्रों को संक्षिप्त रखने एवं ऊर्जा-लागतों को कम रखने में मदद करते हैं।
ऊर्जा कहाँ जाती है?
सामान्य आईआर लैंपों में ऊर्जा हर दिशा में फैल जाती है – 360 डिग्री। यदि आपके पास परावर्तक न हो, तो मशीन का चेसिस ही गर्म हो जाता है… जो कि बेकार ही है।
हम अपने परावर्तकों को ऐसे डिज़ाइन करते हैं कि वे बची हुई ऊर्जा को वापस वेफर पर ही भेजें। इससे सतह पर अधिक गर्मी पहुँचती है। सबसे अच्छी बात यह है कि काम पूरा करने हेतु आपको अधिक ऊर्जा की आवश्यकता नहीं होती… इससे पूरी प्रणाली कुशल एवं संक्षिप्त रहती है।
सामग्रियों के बारे में
आपके बजट एवं आवश्यकताओं के आधार पर, हम आमतौर पर सोने से लेपित या उच्च-शुद्धता वाले एल्यूमिनियम का उपयोग करते हैं। सोना इन्फ्रारेड स्पेक्ट्रम को संभालने में सबसे अच्छा है… लेकिन इसकी कीमत अधिक होती है।
लेकिन वास्तविक समस्या ऑक्सीकरण है… सतहों पर ध्यान दें… जैसे ही लेप खराब होने लगता है, गर्मी का वितरण गड़बड़ हो जाता है… वेफरों पर “ठंडे बिंदु” दिखने लगते हैं… और यहीं से समस्याएँ शुरू हो जाती हैं।
एक छोटी सलाह: अपनी प्रणालियों को डिजिटल नियंत्रकों से जोड़ें… यदि आपको लगे कि एक ही तापमान बनाए रखने हेतु आपको अधिक ऊर्जा की आवश्यकता है, तो आपका परावर्तक शायद गंदा या ऑक्सीकृत हो गया है… ऐसी स्थिति में उसे बदलना ही बेहतर है।
संतुलन की आवश्यकता
यहाँ एक समस्या है… जब गर्मी को इतनी तीव्रता से केंद्रित किया जाता है, तो चीजें बहुत गर्म हो जाती हैं।
यदि आपकी शीतलन प्रणाली पर्याप्त न हो, तो समस्याएँ शुरू हो जाती हैं… पर्याप्त हवा या ठोस शीतलन प्रणाली के बिना इतनी ऊर्जा को वेफर पर भेजना वास्तव में विनाशकारी है… इससे लैंप के इलेक्ट्रोड गर्म हो जाते हैं… और ट्यूबें जल्दी ही खराब हो जाती हैं।
यह सब एक संतुलन का मामला है… यदि थर्मल लोड सही हो, तो सब कुछ ठीक रहेगा।