अपने वेफरों को साफ रखना: हीटिंग संबंधी तथ्य
यदि आप क्लास 100 क्लीनरूम चला रहे हैं, तो आपको पहले से ही पता होगा कि एयर फिल्टर्स केवल आधा ही समाधान हैं। वास्तविक समस्या तो वे चीजें हैं जिन्हें देखा ही नहीं जा सकता। हीटिंग तत्वों से निकलने वाली गैसें एवं छोटे-छोटे कण, समस्या के एहसास होने से पहले ही वेफरों को नष्ट कर सकते हैं।
इसीलिए हम अपने IR वेफर हीटरों में उच्च-शुद्धता वाला सिंथेटिक क्वार्ट्ज ही उपयोग में लाते हैं। ऐसा करने से संदूषण ही नहीं होता।
सामग्री का महत्व
दरअसल, सामान्य काँच या सस्ता क्वार्ट्ज गर्म होने पर समस्याएँ पैदा करता है। ऐसी सामग्रियाँ आयनों या सूक्ष्म कणों को वेफरों पर फैला सकती हैं।
हम उच्च-शुद्धता वाला क्वार्ट्ज ही उपयोग में लाते हैं, क्योंकि यह रासायनिक रूप से निष्क्रिय होता है; इसलिए धातुओं के अशुद्धियाँ वेफरों पर नहीं जा पहुँचतीं। इसके अलावा, यह शॉर्ट-वेव IR विकिरण को भी अपने अंदर नहीं रोकता। इससे ट्यूब ठंडी ही रहती है, जबकि वेफरों को पर्याप्त ऊष्मा मिलती है।
वास्तविक दुनिया के लिए डिज़ाइन
हमने देखा है कि औद्योगिक हीटर्स में कहाँ-कहाँ समस्याएँ होती हैं; इसलिए हमने अपने हीटरों को ऐसे ही डिज़ाइन किया है कि ऐसी समस्याएँ ही न हों।
उदाहरण के लिए, हम अपने हीटरों में कोई गोंद/चिपकने वाली सामग्री ही नहीं उपयोग में लाते। इससे कोई गैसें नहीं निकलतीं, और पर्यावरण भी स्वच्छ रहता है। हम विशेष कनेक्टरों का भी उपयोग करते हैं, ताकि विद्युत संबंधी समस्याएँ ही न हों।
एक छोटा सुझाव: यदि आप तेज़ तापमान पर प्रसंस्करण कर रहे हैं, तो सावधान रहें। गर्मी की मात्रा बहुत अधिक होती है… इसलिए अपने कूलिंग सिस्टम को ठीक रखें, वरना चैंबर क्षतिग्रस्त हो सकता है।
संतुलन
क्वार्ट्ज तो मजबूत होता है, लेकिन यह भंगुर भी होता है। यह अधिकांश सामग्रियों की तुलना में तापीय झटकों को बेहतर तरीके से सहन करता है, लेकिन यह अजेय नहीं है। थोड़ा भी यांत्रिक झटका या ठंडा पानी इसे तुरंत टूटा सकता है… यह बहुत ही खतरनाक है।
इससे बचने हेतु हम वाइब्रेशन-डैम्पिंग माउंट्स का उपयोग करते हैं… ऐसा करने से मशीन चलने के दौरान सब कुछ स्थिर रहता है, और ऐसी समस्याएँ ही नहीं होतीं।
अंत में… हमने ऑर्गेनिक बाइंडरों का उपयोग ही बंद कर दिया, एवं केवल उच्च-शुद्धता वाला सिलिका ही उपयोग में लाया। यह बहुत ही सरल तरीका है… ऐसी ही सामग्रियों का उपयोग करें, ताकि वेफर साफ ही रहें।