Wenn man eine Reinraumklasse 100 betreibt, reicht „fast sauber“ nicht aus. Schon ein winziger Splitter von einem Heizelement – etwas, was man sogar mit bloßem Auge nicht erkennen kann – kann dazu führen, dass die gesamte Charge an Wafern unbrauchbar wird. Das ist ein Albtraum.
Deshalb haben wir auf Standardglas für unsere Infrarotlampen verzichtet. Standardglas enthält Verunreinigungen, die dem hohen Temperaturdruck nicht standhalten können. Sie zerfallen und verursachen Probleme. Stattdessen verwenden wir hochreines synthetisches Quarz. Es bleibt stabil und sauber.
Keine geheimnisvollen Gase mehr
Die meisten Infrarotlampen enthalten Bindemittel oder Beschichtungen, die bereits bei Erwärmung Gase abgeben. Wir haben all diese Störfaktoren beseitigt. Da wir hochreines Quarz verwenden, bleibt die Oberfläche inert. Man muss sich keine Sorgen machen, dass irgendwelche Chemikalien auf die Wafer gelangen könnten. Zudem legen wir großen Wert auf einen guten Abdichtungsprozess. Wir halten die Wolframfäden fern von jeglichem Sauerstoff, damit die Röhren nicht trüb werden. Wenn die Röhre klar bleibt, bleibt auch die Effizienz des Infrarotlichts hoch. Einfach so.
Die Wärme genau dorthin bringen
Diese Lampen erreichen sehr schnell eine hohe Temperatur. Wir konzentrieren uns auf kurzwelliges Infrarotlicht – schließlich soll die Wärme tatsächlich in das Wafermaterial eindringen, statt nur die Luft um das Wafer zu erwärmen. Dadurch kann man die Temperatur viel präziser kontrollieren.
Achtung: Diese Art von Wärmestärke ist intensiv. Überprüfen Sie daher Ihre Befestigungssysteme. Falls Ihr Gehäuse nicht dafür ausgelegt ist, die Ausdehnung des Quarzes bei Erwärmung zu bewältigen, könnte dies zu zu viel Belastung auf die Enden der Lampe führen.
Einfache Installation
Wir haben diese Lampen so gestaltet, dass sie einfach eingebaut werden können. Der Abstand zwischen den Komponenten ist gering, sodass kein Staub Platz hat, um sich zu verstecken. Dank der hohen Qualität des Materials kommt es kaum zu dem hässlichen „Verbräunen“ des Quarzes. Das ist der Vorteil – man muss die Lampen nicht so oft austauschen, was bedeutet, dass die Reinraumverhältnisse nicht ständig gestört werden.
Noch eines: Achten Sie auf eine stabile Stromversorgung. Ein paar Spannungsspitzen können die Fäden der Lampe schneller zerstören als der Quarz selbst abnutzt.