Na výrobní ploše není pečení fotorezistu volbou – je to tepelný rozpočet. Pokud měkké nebo tvrdé pečení odskočí i o zlomek stupně, kritické rozměry...

Na lince flexibilních elektronických waferů nejsou tolerance vůči tepelným výkyvům. Jemné pečení, které se i jen mírně odchýlí, rozbíjí kritické...

Na litografické podlaze není sušení fotoresistu volitelnou záležitostí — je to hranice mezi dosažením výtěžnosti a hromaděním odpadu. Odchylka 2 °C...

Představte si závěrečné titulky, doznívající soundtrack a nastupující ticho. Pak se zapne topení a šumění pohybujícího se vzduchu vás vytrhne ze...

Na výrobní lince se rychle naučíte, že posun soft bake profilu i o půl stupně může změnit tloušťku fotoresistu a způsobit posun kritických rozměrů po...

Introduction Vyvinuli jsme infračervený ohřívač Sunlike z jednoho prostého důvodu: dodat spolehlivé teplo bez průmyslové cenové přirážky. Chtěli...