Světlo pro ohřev při zpracování destiček SiC
Na výrobní lince prostě tam ten polovodičový destička leží a čeká na zahřátí pomocí fotoresistu, které zajistí požadovaný tvar destičky. I malá změna...
Topná jednotka pro zpracování optických waferů
Na výrobní lince zpracování fotorezistu neodpouští teplotní odchylky. Rozdíl 0,5°C mezi teplem a chladem po povrchu waferu během soft bake nebo hard...