Když provozujete čistou místnost třídy 100, „téměř čistota“ nestačí. Jediný drobný úlomek z topného prvku – něco, co ani nemůžete vidět – může zničit celou vaši zásilku waferů. Je to noční můra.
Proto jsme přestali používat běžné sklo pro naše infračervené lampy. Běžné sklo obsahuje nečistoty, které prostě nevydrží vysoké teploty; rozpadají se a způsobují problémy. Místo toho používáme vysoce čistý syntetický křemen. Ten zůstává stabilní a čistý.
Už žádné tajemné plyny
Většina infračervených lamp používá pojivy nebo povlaky, které začínají uvolňovat plynové látky hned, jak se zahřejí. My jsme všechny tyto špinavé látky odstranili.
Díky použití vysoce čistého křemene zůstává povrch inertní. Nemusíte se obávat, že by na vaše wafery mohly dopadnout nějaké chemikálie. Navíc jsme velmi pečliví ohledně procesu uzavření lampy. Držíme wolframové vlákna stranou od jakéhokoliv kyslíku, aby trubice nezamhouřily. Pokud zůstane trubice čirá, efektivita infračerveného záření zůstává vysoká. Prosté.
Poskytnutí tepla tam, kde je potřeba
Tyto lampy se rychle zahřívají. Opravdu rychle.
Soustředili jsme se na krátkovlnné infračervené záření – chcete totiž, aby teplo skutečně proniklo do substrátu waferu, a nejen zahřívalo vzduch kolem něj. To vám umožňuje mnohem přesněji regulovat teplotu.
Jen upozornění: tato intenzita tepla je velmi vysoká. Zkontrolujte své upevňovací pruty. Pokud vaše skříňka není navržena tak, aby vydržela roztažnost křemenu při zahřátí, můžete přetížit konce lampy.
Instalace
Navrhli jsme je tak, aby se daly jednoduše nahradit. Bez jakýchkoliv problémů. Jejich rozměry jsou přesné, takže prach nemá kam se schovat.
A protože kvalita výroby je tak vysoká, už tak často neuvidíte ten ošklivý „zhnědlý“ efekt na křemenu. To je ta nejlepší věc – nemusíte měnit lampy tak často, což znamená, že nebudete každý týden narušovat čistotu místnosti.
Ještě jedna věc: sledujte svůj zdroj napájení. Ujistěte se, že je stabilní. Několik náhlých výkyvů napětí může spálit vlákno mnohem rychleji, než by se křemen mohl opotřebovat.