في عملية الطباعة بالليثوغرافيا، يؤدي وجود نقطة ساخنة بدرجة 2 درجة مئوية على سطح الرقاقة أثناء عملية التسخين إلى تغيير الأبعاد الحرجة للرقاقة، كما يؤدي ذلك إلى استهلاك ساعات طويلة من وقت التعرض للضوء. لا يمكن متابعة التغيرات الحرارية في كل دفعة من الرقائق. يقوم جهاز التسخين بالأشعة تحت الحمراء بالحفاظ على درجة الحرارة المطلوبة، بحيث تظل ضمن النطاق المحدد، ولا تتأثر بتقلبات العملية.
ما هو مهم من الناحية التقنية؟ نستخدم أشعة تحت حمراء قصيرة الموجة، مع تسخين سريع ومباشر، بحيث يتم تعديلها لتتناسب مع استجابة الرقاقة نفسها. هذا يوفر توحيدًا حراريًا على مستوى الرقاقة بدرجة تتراوح بين ±0.1 درجة مئوية خلال عملية التصنيع، كما يوفر استقرارًا في درجة الحرارة من رحلة إلى أخرى. يتم استخدام هذا الجهاز في غرف نظيفة من الدرجة 1-100، ولا ينتج أي جسيمات، كما أن تصميمه مغلق ولا ينتج غازات. يوفر هذا الجهاز أداءً مستقرًا على مدار 24 ساعة، بدون أي توقفات غير متوقعة، ويمكن التخطيط لفترات الصيانة بشكل مناسب.
لماذا ينجح هذا الجهاز في الممارسة العملية؟ في عمليات تجفيف الرقاقة، وإزالة الغازات منها، وعمليات التسخين، يساعد الجهاز بالأشعة تحت الحمراء في تقليل وقت التسخين والحفاظ على درجة الحرارة المطلوبة. يزيد ذلك من كفاءة العملية دون التأثير على جودة الإنتاج. عندما تكون عمليات التسخين مستقرة، فإن تفاعلات المواد المستخدمة في صناعة الرقاقات تكون متوقعة، مما يقلل من البقايا والعيوب، ويساعد في السيطرة على الأبعاد الدقيقة للرقاقة. يمكن استخدام نفس الجهاز في عمليات التصليد، مع توفير طاقة متحكم بها، مما يقلل من استهلاك الطاقة الكلي، مع الحفاظ على جودة الإنتاج.
ما الذي يجب أن يتم بشكل صحيح؟ من المهم مطابقة طيف الأشعة تحت الحمراء وكثافة الطاقة مع خصائص الرقاقة نفسها. يجب أن يتم دمج الجهاز بشكل صحيح، لكن يجب أن تتوافق واجهة الجهاز ونظام التبريد مع متطلبات الغرفة وأنظمة التهوية. يجب التخطيط للحفاظ على الحرارة والحماية من التأثيرات السلبية، حتى لا تتأثر الأجهزة والمستشعرات الموجودة بالقرب من الرقاقة. إذا تم تركيب الجهاز بشكل صحيح، فسيوفر عملية إنتاج مستقرة خلال جميع مراحل الإنتاج.